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电子探针分析仪检定规程 (JJG 901-1995)

电子探针分析仪检定规程 (JJG 901-1995)

电子探针分析仪检定规程

（JJG 901-1995）

评 述

周剑雄 陈振宇

（中国地质科学院矿产资源研究所 北京 100037）

E-mail：zjx@http://www.1mpi.com

0 前言

本文集之所以将本标准收录，并不仅仅因为是电子探针也具有扫描电镜的图像观察和测长功能，也需要规范，而更重要的是让分析型扫描电镜的使用者仔细研究本标准后，会明白自己的分析型扫描电镜为什么不能达到定量分析的原因所在，而且也更会明白要达到定量分析是一件如此轻而易举的事。

“电子探针分析仪的检定规程”是由上海测试中心张训彪起草的，发布于1995年。检测方法简明扼要，检定项目明确合理，是电子探针检测实验室的重要的仪器检定标准，许多条款也同时适用于扫描电子显微镜。本标准的内容大体与“电子探针分析仪的检测方法（GB/T15075-94）”标准一致。但在某些方面有一定差异。

在该检测方法中，标准的制订者对有关扫描电镜功能的几个关键检定的具体内容也作了如下的规定，这些规定对于获得较佳的图像是非常有益的，如：

（1）放大倍数示值误差：

一级不超过±5％；二级不超过±10％；三级不超过±20％。

（2）二次电子像分辨力：

一级不大于10nm；二级不大于20nm；三级不大于50nm。

（3）探针束流稳定度：

一级不大于3×10-3；二级不大于5×1-3；三级不大于10×10-3。

（4）束斑位置稳定度：

一级不大于0.5μm；二级不大于1μm；三级不大于2μm。

这里特别指出的是：在该检定方法中，标准的制订者明确提出了必须应用的各种标准样品，包括放大倍率的标准样品、分辨力标准样品、合金成分标准样品、矿物成分标准样品等，如第14条中所列：

14 检定用标准物质

14.1 检定放大倍数用标准物质

参见JJG550-88扫描电子显微镜检定规程9.1款。

14.2 合金标准物质

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