综述透明导电薄膜的性能、种类、制备工艺、研究及应用状况,重点讨论掺铝氧化锌(AZO)薄膜的结构、导电机理、光电性能和当前的研究焦点。并指出,为了进一步提高透明导电薄膜的性能,应从以材料选择、制备工艺、多层膜光学设计等方面深入研发,以满足尖端技术的需要。

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张亚萍，李启甲：铝氧化锌 ( z导电薄膜的研究进展掺 A 0) 文章编号：0 6 6 6 (0 6 0— 0 10 10 - 2 8 20 )3 0 5— 4

掺铝氧化锌 ( Z导电薄膜的 A O)研究进展 张亚萍，启甲李 (西科技大学材料科学与工程学院，西咸阳 7 8 陕陕 1 0 1 2 J

摘

要：综述透明导电薄膜的性能、种类、制备工艺、究及应用状况。研重点讨论掺铝氧化锌

( z薄膜的结构、 A o)导电机理、电性能和当前的研究焦点。光并指出，了进一步提高透明导电为 薄膜的性能，应从以材料选择、制备工艺、多层膜光学设计等方面深入研发，以满足尖端技术的 需要。

关键词：透明导电膜；掺铝氧化锌薄薄；多层膜设计 中图分类号： N1 43 T . 0文献标识码： A

Re e tRe a c n AZO n u t g F. s c n s er h 0 Co d c i 1 n m Z AN a pn, I -i H G Y - ig L j Qi a

(c o l f tr l c n ea dE gn ei S a n i iesy S h o o ei i c n n i r g, h n X v ri Ma a S e e n Un t

o c ne a dT c n l y S a X i Y n 1 0 1 h a f i c n e h o g, h n i a a g7 8, i ) S e o X n 2 C n Ab ta t s r c:Th r p ris v r t s r p r t n t c n lg e,r c n e e r h a v n e n e p o e t, a i i,p e a a i e h o o i s e e t r s a c d a c s o e e e o ta s a e t a d o d c ig f m s a d t e r a p ia in n a i u f ls a e e c i e . r n p r n n c n u t ¨ n h i p l t s i v r s i d r d s r d n c o o e b

Stu t r,ee ti m e h ns,p o o lc r r p risa d iv s ia i o u fAZO m rc ue lc r c c a im h t ee ti p o e e n n e t t c t g onf c s o a e e p a ie .T e p op ri s o r n p r n n o d c i g m s s oud b m p o e r m h s z d h r e e f

ta s a e t a d c n u t t n h l e i r v d

c m bn d w i p i i d m aer l,r s a c e n p e a a in t c n lge n uta e o ie t o t z t i s e e r h s o r p rt e h oo is a d m llg r h m e a o i d sg d r o m e tt e s i e h o o y e in i or e e h p r t c n l g . n t y

K y r: r n p r n n o d c igf m: e wo d ta s ae t d c n u tn¨ AZO m s m uta e e in a: llg r sg i d

透明导电薄膜的种类很多。金属氧化物透明导电膜的研究比较早， a d k r 1 0 B k e e于 9 7年第一个报导了 C O透明导电膜。1 5 d 9 0年前后出现了硬度高、 化学稳定的 S O:和综合光电性能优良的 I: n基 nO。基薄膜，并制造出有应用价值的透明导电膜 N S EA

(商品名 ) S O:一 n薄膜。2 0世纪 8 0年代开始出现研

究 Z O基薄膜的热潮。 18 n 9 5年，a e j i T kaOi Sz o o Mi t首次用气相聚合方法合成了导电的 y a a PY V P—P A复合膜，而开创了导电高分子的光电领从

域…。透明导电膜以接近金属的导电率、见光范围可

收稿日期：0 5 1— 5 2 0— 2 0

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