第四章 精密机械系统的设计 在测控仪器中，精密机械系统对保证仪器的测量精度、定位精度和运动精 度起着关键的作用。随着精密测量与控制技术的飞速发展，对测控仪器中的
精密机械系统的功能和精度要求也越来越高。如对基座的变形要控制在亚微 米量级；对工作台的定位精度和传动精度要求能达到0.1μm;对导轨的直线度 要求达到0.1μm/m;主轴的回转精度要求达到0.01μm等。 本章在精密机械设计基础上，重点对系统精度和性能影响较大的机械结构
进行研究，如：基座、导轨、轴系及伺服系统进行等。 本章共分为五节： 第一节 仪器的支承件设计
第二节 仪器的导轨及设计 第三节 主轴系统及设计 第四节 伺服机械系统设计 第五节 微位移机构及设计
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