您的位置： 文档大全所有分类工程科技能源/化工 Channel5_Fast数据采集简要流程

Channel5_Fast数据采集简要流程

Channel5 数据采集简要流程（Fast）

（注：本流程是Fast的基本操作过程，详细参数设置请参阅相关说明书）

一．数据采集前的准备

1．插入HASP（狗）

2．获得SE像

（1）将样品装夹后，放入SEM样品室，达到真空度（高真空或所设定的低真空范围）；

（2）设置SEM成像参数：

HV＝20-30 kV、Spot：6-7 (FEI Quanta 200）

（Fast采集数据需要的信号一般比较强）、Tilt Correction：70 、

WD＝13-26 mm等。（工作距离越小越好，但不能太小，防止样品台撞到探头，

样品及样品台的最高位置，不能超过10mm位置线。样品尺寸不要超过30mm）

（3）选择EBSD测试的样品扫描区域，使样品分析区域处于电子束光轴下方。(视野看到样品，保证样品位于电子束光轴之下，防止探头被撞。)

4． EBSD探头进入

（1）打开EBSD控制器（Control Box）。

（2）解锁控制手柄：按下手柄上的“Stop”键

（3）进入EBSD探头：

长按控制手柄上的“IN”键3sec，EBSD探头自动伸入样品室内；

当探头进入到DD＝110 mm时，自动停止。

继续长按3sec“IN”键，使探头继续进入，直到在工程师校准数据文件规定

的位置上自动停止，也可点击“In”键，使EBSD探头以0.1mm的步进逐点进入。

注意1 ：工程师已设定的DD＝166.6 mm。（康伟说已校正为167.6mm）

注意2 ：应用EBSD原位拉伸台时，选DD = 157.9 mm。

第1页

你可能喜欢

  • 数据采集与处理技术
  • 数据采集软件
  • 数据采集器
  • 发动机参数
  • 财务流程图
  • 技术应用
  • 全站仪数据采集

Channel5_Fast数据采集简要流程的相关文档搜索

Channel5_Fast数据采集简要流程相关文档

最新文档

返回顶部