扫描电子显微镜-SEM

扫描电子显微镜的简称为扫描电镜,英 文 缩 写 为 SEM (Scanning Electron Microscope)。SEM 与电子探针( EPMA)的 功能和结构基本相同,但SEM一般不带波谱 仪(WDS)。它是用细聚焦的电子束轰击样 品表面,通过电子与样品相互作用产生的二 次电子、背散射电子等对样品表面或断口形 貌 进 行 观 察 和 分 析 。 现 在 SEM 都 与 能 谱 ( EDS)组合,可以进行成分分析。所以, SEM也是显微结构分析的主要仪器,已广泛 用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。

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