震机
中科晶电信息材料(北京)有限公司
震机清洗记录表 编号：R-JT-26-01 日期 空震 清洗材料 时间设定 第一次 开机时间 加热
设备编号： 第二次 开机时间 加热
第三次 开机时间
操作员
备注
注：1、清洗材料分为PBN坩埚、合成料及回料； 2、当天首次使用需甲醇擦拭后空震15分钟，操作完划√。 3、严格按照作业指导书要求操作，清洗过程中需要加热的在“加热”栏中划√,不需要加热的划×。
中科晶电信息材料（北京）有限公司
震机清洗记录表
2、当天首次使用需甲醇擦拭后空震15分钟，操作完划√。
3、严格按照作业指导书要求操作，清洗过程中需要加热的在“加热”栏中划√，不需要加热的划×。
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